关于采样点位置 按以下步骤确认采样点位置:
a. 在表A.1中查到最小采样点数目NL;
b. 将整个洁净室或洁净区分成面积相等的NL个区域;
c. 在每个区域选择一个具有代表性的位置作为采样位置;
d. 在每个采样位置上,将粒子计数器的探头置于工作面高度或其他位置。
关键位置处可增加采样点,其数量和位置也应商定并说明。
增加的采样区域及其相应采样点可计算在总采样点数内,以便将洁净室或洁净区划分为相等采样区域。
非单项流洁净室或洁净区中,位于无扩散装置的送风口正下方的采样点不具有代表性。
如何使用尘埃粒子计数进行采样呢?
1) 依据产品说明书调整粒子计数器,包括零计数率校核。
2) 采样探头应放置在朝向气流的方向。被采样气流方向是不可控制或不可预测时(例如非单向气流),采样探头的开口应垂直向上。
3) 确定采样前所选定的占用状态已达到规定条件。
4) 按规定的每个采样点单次最小采样量进行采样。
5) 某个采样点发现非正常情况引起的异常计数时,经验明后可以剔除该计数并在检测报告中予以说明,然后重新采样。
6) 某个采样点的不合格计数是由洁净室或设备的技术故障引起时、宜查明原因,采取补救措施,并对该点及其周围相邻点或受其影响的其他采样点进行复测。此情况应清楚地记录并说明合理性。