单晶硅烘箱主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。
单晶硅烘箱特点
1、烘箱采用数显温度调节仪进行温度控制、控温灵敏、操作简便、性能可靠,数字直接显 示出工作温度,直观易读。
2、工作室温度可在室温至250℃之间任意恒温;能自动切断电源,保护设备和产品。
3、该设备具有超温报警,恒温计时功能。
箱体结构:箱体采用数控机床加工成型,箱门采用双开式,操作容易。内胆采用SUS304不锈钢板,外壳为A3板喷塑处理,更显光洁、美观。电路系统侧采用门式开启,方便维护和检修。箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保烘箱的密闭性。
单晶硅烘箱日常保养:
1. 打扫表面及内腔灰尘,保持机器干净、卫生。
2. 检查电流表电流跟正常时是否一样,如有异样,通知维修工检修。
技术参数:
1、工作室材质:镜面不锈钢板;
2、网板:2层不锈钢网板;
3、定时范围:1-9999min 4、温度范围:RT 10~400℃;
5、温度分辨率:0.1℃;
6、温度波动度:≤±0.5℃。
应用领域:
1、高科技电子业
2、化验室等单位
3、研究机构
4、精密品管部门