咨询热线
15335262822
您的位置: 网站首页 > 技术文章 > 如何确保单晶硅烘箱的密闭性

如何确保单晶硅烘箱的密闭性

发布日期: 2018-05-16
浏览人气: 2436
   单晶硅烘箱箱体结构:设计,箱体采用数控机床加工成型,箱门采用双开式,操作容易。内胆采用SUS304不锈钢板,外壳为A3板喷塑处理,更显光洁、美观。电路系统侧采用门式开启,方便维护和检修。箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保单晶硅烘箱的密闭性。
  
  空气循环系统采用双电机水平循环送风方式,风循环均匀。风源由循环送风电机(采用无触点开关)带动风轮(Φ230)经由电热器,而将热风送出,再经由风道至烘箱内室,再将使用后的空气吸入风道成为风源再度循环,加热使用。确保室内温度均匀性。当因开关门动作引起温度值发生摆动,可介此送风循环系统迅速恢复操作状态温度值。
  
  单晶硅烘箱的概念
  
  主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。特点
  
  1,本系列主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。
  
  2,本系列烘箱采用数显温度调节仪进行温度控制、控温灵敏、操作简便、性能可靠,数字直接显示出工作温度,直观易读。
  
  3,工作室温度可在室温至250℃之间任意恒温;能自动切断电源,保护设备和产品。
  
  4,单晶硅烘箱具有超温报警,恒温计时功能。
  
  箱体结构:设计,箱体采用数控机床加工成型,箱门采用双开式,操作容易。内胆采用SUS304不锈钢板,外壳为A3板喷塑处理,更显光洁、美观。电路系统侧采用门式开启,方便维护和检修。箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保烘箱的密闭性。