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洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级

发布日期： 2017-04-07
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表1 洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级ISO等级序数（N）大于或等于表中被考虑的粒径的zui大浓度限值pc/m3空气浓度限值按3.2中的公式计算pc/(28.3L)1ft3空气浓度限值pc/（2.83L）0.1ft3空气浓度限值0.3μm0.5μm1μm5μm0.3μm0.5μm1μm5μm0.3μm0.5μm1μm5μmISO Class 5Class 10010200352083229289100230291020ISO Class 6Class 1000102000352008320293288710002358289100241ISO Class 7Class 10000352000832002930100002354839962368ISO Class 8Class 10000035200008320002930010000023545829996223558330万级（GMP）10560000249600087900300000706352487298857064249ISOClass 9Class 1000000352000008320000293000100000023545682919961623545829注：由于涉及测量过程的不确定性，帮要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。